Allgair, J. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXII. SPIE Digital Library.
Citace podle Chicago (17th ed.)Allgair, John. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXII. SPIE Digital Library.
Citace podle MLA (8th ed.)Allgair, John. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXII. SPIE Digital Library.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..