Chiao, J. MEMS/MOEMS Technologies and Applications III. SPIE Digital Library.
Chicago-viite (17. p.)Chiao, Jung-Chih. MEMS/MOEMS Technologies and Applications III. SPIE Digital Library.
MLA-viite (8. p.)Chiao, Jung-Chih. MEMS/MOEMS Technologies and Applications III. SPIE Digital Library.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.