Urey, H. MEMS, MOEMS, and Micromachining II. SPIE Digital Library.
Chicago-referens (17:e uppl.)Urey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining II. SPIE Digital Library.
MLA-referens (8:e uppl.)Urey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining II. SPIE Digital Library.
Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.