Mack, C. A. Field Guide to Optical Lithography. SPIE Digital Library.
Chicago Style (17. basım) AtıfMack, Chris A. Field Guide to Optical Lithography. SPIE Digital Library.
MLA (8th ed.) AtıfMack, Chris A. Field Guide to Optical Lithography. SPIE Digital Library.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..