Urey, H. MEMS, MOEMS, and Micromachining. SPIE Digital Library.
Chicago-viite (17. p.)Urey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining. SPIE Digital Library.
MLA-viite (8. p.)Urey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining. SPIE Digital Library.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.