Engelstad, R. Emerging Lithographic Technologies VI. SPIE Digital Library.
Cita Chicago Style (17a ed.)Engelstad, Roxann. Emerging Lithographic Technologies VI. SPIE Digital Library.
Cita MLA (8a ed.)Engelstad, Roxann. Emerging Lithographic Technologies VI. SPIE Digital Library.
Precaución: Estas citas no son 100% exactas.