Chiao, J. Device and Process Technologies for MEMS and Microelectronics II. SPIE Digital Library.
Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)Chiao, Jung-Chih. Device and Process Technologies for MEMS and Microelectronics II. SPIE Digital Library.
Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 8)Chiao, Jung-Chih. Device and Process Technologies for MEMS and Microelectronics II. SPIE Digital Library.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.