Behringer, U. MEMS Design, Fabrication, Characterization, and Packaging. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Behringer, Uwe. MEMS Design, Fabrication, Characterization, and Packaging. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)Behringer, Uwe. MEMS Design, Fabrication, Characterization, and Packaging. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.