Стиль цитування APA (7-ме видання)

Behringer, U. MEMS Design, Fabrication, Characterization, and Packaging. SPIE Digital Library.

Чикаго стиль цитування (17-те видання)

Behringer, Uwe. MEMS Design, Fabrication, Characterization, and Packaging. SPIE Digital Library.

Стиль цитування MLA (8-ме видання)

Behringer, Uwe. MEMS Design, Fabrication, Characterization, and Packaging. SPIE Digital Library.

Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.