Mack, C. Microlithographic Techniques in Integrated Circuit Fabrication II. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Mack, Chris. Microlithographic Techniques in Integrated Circuit Fabrication II. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)Mack, Chris. Microlithographic Techniques in Integrated Circuit Fabrication II. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.