Цитирование APA (7-е изд.)

Sullivan, N. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XIV. SPIE Digital Library.

Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)

Sullivan, Neal. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XIV. SPIE Digital Library.

Цитирование MLA (8-е изд.)

Sullivan, Neal. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XIV. SPIE Digital Library.

Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.