Chau, K. Device and Process Technologies for MEMS and Microelectronics. SPIE Digital Library.
Citação norma ChicagoChau, Kevin. Device and Process Technologies for MEMS and Microelectronics. SPIE Digital Library.
Citação norma MLAChau, Kevin. Device and Process Technologies for MEMS and Microelectronics. SPIE Digital Library.
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