Smith, J. Micromachining and Microfabrication Process Technology IV. SPIE Digital Library.
Citação norma ChicagoSmith, James. Micromachining and Microfabrication Process Technology IV. SPIE Digital Library.
Citação norma MLASmith, James. Micromachining and Microfabrication Process Technology IV. SPIE Digital Library.
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