APA (7. basım) Alıntı

Naulleau, P. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography IV. SPIE Digital Library.

Chicago Style (17. basım) Atıf

Naulleau, Patrick. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography IV. SPIE Digital Library.

MLA (8th ed.) Atıf

Naulleau, Patrick. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography IV. SPIE Digital Library.

Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..