Naulleau, P. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography IV. SPIE Digital Library.
Chicago Style (17. basım) AtıfNaulleau, Patrick. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography IV. SPIE Digital Library.
MLA (8th ed.) AtıfNaulleau, Patrick. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography IV. SPIE Digital Library.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..