Giffin, J. Developments in Semiconductor Microlithography. SPIE Digital Library.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Giffin, James. Developments in Semiconductor Microlithography. SPIE Digital Library.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Giffin, James. Developments in Semiconductor Microlithography. SPIE Digital Library.
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