Rai-Choudhury, P. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Rai-Choudhury, Prosenjit. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)Rai-Choudhury, Prosenjit. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.