Yen, A. Optical Physics for Nanolithography. SPIE Digital Library.
Chicago-viite (17. p.)Yen, Anthony. Optical Physics for Nanolithography. SPIE Digital Library.
MLA-viite (8. p.)Yen, Anthony. Optical Physics for Nanolithography. SPIE Digital Library.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.