Erdmann, A. Optical Microlithography XXIX. SPIE Digital Library.
Cita Chicago Style (17a ed.)Erdmann, Andreas. Optical Microlithography XXIX. SPIE Digital Library.
Cita MLA (8a ed.)Erdmann, Andreas. Optical Microlithography XXIX. SPIE Digital Library.
Precaución: Estas citas no son 100% exactas.