Citace podle APA (7th ed.)

Panning, E. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VII. SPIE Digital Library.

Citace podle Chicago (17th ed.)

Panning, Eric. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VII. SPIE Digital Library.

Citace podle MLA (8th ed.)

Panning, Eric. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography VII. SPIE Digital Library.

Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..