Stover, H. Optical Microlithography V. SPIE Digital Library.
Citace podle Chicago (17th ed.)Stover, Harry. Optical Microlithography V. SPIE Digital Library.
Citace podle MLA (8th ed.)Stover, Harry. Optical Microlithography V. SPIE Digital Library.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..