Stover, H. Optical Microlithography III: Technology for the Next Decade. SPIE Digital Library.
Citace podle Chicago (17th ed.)Stover, Harry. Optical Microlithography III: Technology for the Next Decade. SPIE Digital Library.
Citace podle MLA (8th ed.)Stover, Harry. Optical Microlithography III: Technology for the Next Decade. SPIE Digital Library.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..