Dey, J. Semiconductor Microlithography VI. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Dey, James. Semiconductor Microlithography VI. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)Dey, James. Semiconductor Microlithography VI. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.