Owa, S. Optical Microlithography XXXIV. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումOwa, Soichi. Optical Microlithography XXXIV. SPIE Digital Library.
MLA (8րդ խմբ.) ՄեջբերումOwa, Soichi. Optical Microlithography XXXIV. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.