Felix, N. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII. SPIE Digital Library.
Chicago Style (17. basım) AtıfFelix, Nelson. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII. SPIE Digital Library.
MLA (8th ed.) AtıfFelix, Nelson. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII. SPIE Digital Library.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..