APA (7. basım) Alıntı

Felix, N. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII. SPIE Digital Library.

Chicago Style (17. basım) Atıf

Felix, Nelson. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII. SPIE Digital Library.

MLA (8th ed.) Atıf

Felix, Nelson. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII. SPIE Digital Library.

Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..