Levinson, H. J. Extreme Ultraviolet Lithography. SPIE Digital Library.
Chicago Style (17th ed.) CitationLevinson, Harry J. Extreme Ultraviolet Lithography. SPIE Digital Library.
ציטוט MLALevinson, Harry J. Extreme Ultraviolet Lithography. SPIE Digital Library.
אזהרה: ציטוטים אלה לעיתים לא מדויקים ב 100%.