Sanchez, M. Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020. SPIE Digital Library.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Sanchez, Martha. Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020. SPIE Digital Library.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Sanchez, Martha. Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020. SPIE Digital Library.
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