Lio, A. Optical and EUV Nanolithography XXXV. SPIE Digital Library.
Citazione stile Chigago Style (17a edizione)Lio, Anna. Optical and EUV Nanolithography XXXV. SPIE Digital Library.
Citatione MLA (8a ed.)Lio, Anna. Optical and EUV Nanolithography XXXV. SPIE Digital Library.
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