Cain, J. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXIX. SPIE Digital Library.
توثيق أسلوب شيكاغو (الطبعة السابعة عشر)Cain, Jason. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXIX. SPIE Digital Library.
توثيق جمعية اللغة المعاصرة MLA (الطبعة الثامنة)Cain, Jason. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXIX. SPIE Digital Library.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.