Ranadive, D. Dry Etch Technology. SPIE Digital Library.
Cytowanie według stylu Chicago (wyd. 17)Ranadive, Deepak. Dry Etch Technology. SPIE Digital Library.
Cytowanie według stylu MLA (wyd. 8)Ranadive, Deepak. Dry Etch Technology. SPIE Digital Library.
Uwaga: Te cytaty mogą odróżniać się od wytycznej twojego fakultetu..