Resnick, D. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Technology: Submicrometer Lithographies IX. SPIE Digital Library.
Style de citation Chicago (17e éd.)Resnick, Douglas. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Technology: Submicrometer Lithographies IX. SPIE Digital Library.
Style de citation MLA (8e éd.)Resnick, Douglas. Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Technology: Submicrometer Lithographies IX. SPIE Digital Library.
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