Watts, M. Advances in Resist Technology and Processing VII. SPIE Digital Library.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Watts, Mike. Advances in Resist Technology and Processing VII. SPIE Digital Library.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Watts, Mike. Advances in Resist Technology and Processing VII. SPIE Digital Library.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.