Freund, R. Multichamber and In-Situ Processing of Electronic Materials. SPIE Digital Library.
Citação norma ChicagoFreund, Robert. Multichamber and In-Situ Processing of Electronic Materials. SPIE Digital Library.
Citação norma MLAFreund, Robert. Multichamber and In-Situ Processing of Electronic Materials. SPIE Digital Library.
Nota: a formatação da citação pode não corresponder 100% ao definido pela respectiva norma.