Citação norma APA

Freund, R. Multichamber and In-Situ Processing of Electronic Materials. SPIE Digital Library.

Citação norma Chicago

Freund, Robert. Multichamber and In-Situ Processing of Electronic Materials. SPIE Digital Library.

Citação norma MLA

Freund, Robert. Multichamber and In-Situ Processing of Electronic Materials. SPIE Digital Library.

Nota: a formatação da citação pode não corresponder 100% ao definido pela respectiva norma.