Griffiths, J. Monitoring and Control of Plasma-Enhanced Processing of Semiconductors. SPIE Digital Library.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Griffiths, James. Monitoring and Control of Plasma-Enhanced Processing of Semiconductors. SPIE Digital Library.
Цитирование MLA (8-е изд.)Griffiths, James. Monitoring and Control of Plasma-Enhanced Processing of Semiconductors. SPIE Digital Library.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.